应用方案
MEMS 器件表征 和测试
使用一套专用仪器确保设备达到最佳性能。
常见问题
是的。 多仪器并行模式 允许您使用一个设备同时生成驱动信号，使用 波形发生器，并测量响应，使用 锁相放大器, 示波器 或 相位表这使得它非常适合表征 MEMS 谐振器、执行 Q 因子测量或在惯性传感应用中关闭反馈回路，而无需将单独的仪器链接在一起。
Moku 器件在其模拟前端采用 ADC 混合技术，以最大限度地提高噪声性能，并具有可调耦合、阻抗和衰减。这可以精确检测压电或电容式 MEMS 器件常见的小电压或电流输出。对于特别微弱的信号， 锁相放大器 可以提取远低于本底噪声的幅度和相位信息，使其成为 MEMS 位移或运动传感的有力工具。
是的。Moku Python API 让您自动化测量过程的每个步骤，从激励生成和参数扫描到数据记录和结果分析。您可以将其与现有的软件堆栈或生产平台集成，无需底层驱动程序，从而实现可重复、可编写脚本的 MEMS 验证测试。